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harmonic uni-brain
工程 装置名 メーカー
スパッタ写真 枚葉式 アルバック
インライン式 アルバック
バッチ式 アルバック
HDD製造用スパッタ バルザーズ
CVD写真 P-CVD AKT・アルバック
AP-CVD WJ・AMAT・Novellus
エッチャー ドライエッチャー TEL・芝メカ・Lam・AMAT
露光写真 アライナー キャノン
ステッパー ニコン・キャノン
WET写真 コーター・デベロッパー TEL・DNS・SVS・日立
洗浄 芝メカ・全協・S&D・住友化成・クレセン・ダン科学
テスト写真 半導体テスター アドバンテスト・TEL
アレイテスター MJC・アジレント
O/Sテスター 東京カソード
検査写真 レーザーリペア NTN
表面検査機 日立ハイテク
光学式膜厚系(λエース) DNS
FE-SEM 日立
FT-IR 日立
ストッカ写真 ストックヤード ムラテック
レチクルストッカ
焼成炉 焼成炉 ノリタケ・日本写真印刷
注入 インライン注入 キャノンアネルバ
注入 昭和真空
 
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